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激光烟尘净化器研发
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超低温冷头放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。
由于系统处于真空状态,无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装.